拓荆科技新获得发明专利授权：“紫外固化设备”

专利摘要：本申请涉及半导体技术领域，尤其涉及一种紫外固化设备。紫外固化设备包括真空腔室，真空腔室内设有喷淋板和晶圆载盘，晶圆载盘位于喷淋板的下方，真空腔室内还包括分气环；分气环为环体结构，其环周顶部与喷淋板的周向下边沿相抵接设置；其环形内壁朝向真空腔室的内部设置，且环形内壁沿其周向设有多个分气孔；分气环的环形内壁、环周顶部、环形外壁和环周底部依次相接合围成环形气道，分气孔与环形气道相通设置，将环形气道内的气体通入至真空腔室的内部；晶圆载盘设置为可升降结构，其朝靠近或远离分气环的方向升降。紫外固化设备解决了真空腔室清洗效果不佳，导致单次设备维护与保养时间短、单次跑片数量低、成本过高的技术问题。

今年以来拓荆科技新获得专利授权72个，较去年同期增加了125%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.1亿元，同比增78.77%。

数据来源：企查查

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